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中古 マスフローコントローラー（MFC）
FCPI 980
機器名｜FCPI 980
機器コード｜FCPI 980
機器の詳細｜
仕様:マニホールド１式：C4F8＊50 SF6＊500 N2＊200 BCl3＊200 ClF3＊500 CL2＊200 O2＊5000 N2＊10
メーカー名｜ 日立金属